10:10~10:50 國際會議廳
AOI在半導體製造的需求與應用 / 聯華電子製造技術處 陳重安 處長
聯華電子股份有限公司 陳重安 處長，於論壇演講中闡述AOI在半導體製造的需求與應用，分享寶貴經驗與觀點，給予AOI社群成員啟發。
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| 10:50~11:30 國際會議廳
以AI平台技術實現高效影像檢測與智慧工廠 / 研華股份有限公司 郭柏村 博士 / 資料科學家暨陽明交通大學副教授
光學檢測的系統近年來透過AI技術導入已大幅提升傳統規則法的篩檢效能，但是以產線優化與工廠智能化的整體發展來看，對無數的個別問題搭建補丁式的解方，絕對不是一個有效率的做法。透過對基礎運算平台的規劃，導入能彈性化支援智慧工廠發展的小型工業雲架構，會是未來各行業在工廠智慧化的一個最有效做法。
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11:30~12:10 國際會議廳
半導體中段製程與線上檢測技術整合應用 / 工研院量測中心 陳炤彰 副執行長
More than Moore的半導體IC在繼Fan-out封測技術發展後，中段製程（Middle-end)技術已整合SoC/SoIC和CoWoS等進入3DIC和異質整合Chiplet(小晶片）的整體方案（Total solution）考量。除了可折疊移動裝置的輕簿短小需求外，車用晶片的多樣性感測元件及通訊元件的設計整合也是重要關鍵推動力！因此半導體製程的眼睛-線上檢測技術發展更顯得格外重要！如何完成非接觸非破壞性的線上晶圓級檢測技術也將是確保半導體高良率及高產值的不二法門！最後藉由相關案例分享，可以更完整了解目前半導體中段製程之檢測技術發展和趨勢。
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15:00~15:40 國際會議廳
人工智慧生產履歷管理系統 / 智泰科技 許智欽 董事長
AI-PTM (AI Production Traceability Management) 人工智慧生產履歷管理系統，是智泰科技以深耕產業界近30年的豐富經驗為核心，將人工智慧融入AOI檢測，加上最新圖像辨識技術，結合廠商現行之ERP/MES，進而推出AI-PTM，為業界精進生產過程中的品管流程，並提升供應鏈的品檢能力。
現行產品檢測多以人工搭配工具執行，採用同樣檢驗標準卻可能得到不一致的檢測成果，品檢人員可能會受到工時、光線、生理因素等變因進而影響品檢結果，或是因機台調校而在不同場域得出不一致的品檢報告，使得供貨端與驗收端無法取得共識。
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15:00~15:40 第四會議室
超表面之量產-利用CMOS兼容製程製作奈米光學元件之探討 / 陽明交通電子工程 曾銘綸 教授
Realizing compact and efficient photonic devices is essential for advancing the current optoelectronic technologies. Recently, metasurfaces have been found to be very useful for developing miniaturized imaging and sensing systems. Metasurfaces are planar devices whose optical functionalities can be engineered by tuning the nanoscale unit cell’s geometry. However, there is an unmet need for their industry-scale production. Here, we will report a CMOS-compatible process for wafer-scale fabrication of highly efficient metasurfaces. It is based on DUV lithography and can produce metasurface arrays on freestanding and transparent Al2O3 membranes. To reveal the versatility of the reported method, we made several metasurface chips for spectral filtering, lightwave control, and biosensing on 4-inch Si wafers. High uniformity of the fabricated metasurfaces and their high efficiencies for the targeted functionalities are verified. The reported method will accelerate the integration of metasurface-based photonics into the semiconductor industry and open exciting opportunities for cutting-edge instrumental applications.
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15:00~15:40 八樓會議室
深度學習推論加速並應用於半導體瑕疵檢測 / 量測中心 林宏偉 資深工程師
隨著科技演進，高解析度影像的需求以及應用越來越廣泛，先進半導體封裝測試技術隨著晶圓製程精密化，晶片前段製程已微縮至 7 奈米，然載版上的配線與線寬(line)線距(Space)的量測技術尚停留於10 μm微米，製程與配線量測之間的技術差距逐漸擴大，因此建構奈米結構關鍵尺寸的量測技術需求日益增長。礙於軟體解析度提高後的柵格現象與處理速度瓶頸等問題，半導體封裝測試以及瑕疵量(檢)測始終無法滿足快速且大量全檢測之需求，結合深度學習超解析技術以及TensorRT™推論模型優化等技術手段，除了可以重建還原高解析度影像資訊，特別是圖像中的高頻邊界訊號外，更可以滿足半導體製程即時快速、全檢需求。透過半導體製程重佈線層RDL線寬與間距量測作為載具，重佈線層線寬以及線距的量測檢測精度由20 𝜇𝑚 提升至 10 ~5 𝜇𝑚，檢測速度為既有方法如SEM以及光干涉等量測方式的20倍，約58.82 FPS 檢測速度，重建後之峰值訊躁比PSNR 約34.88 dB ，為奈米結構關鍵尺寸的量測技術提供一完整解決方法。
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15:40~16:20 國際會議廳
基於深度學習之瑕疵檢測技術 / 雲科大智慧辨識中心 張傳育 主任
製造廠在產品外觀檢測上多仰賴視覺檢測技術來找出瑕疵，然而原有的自動光學檢測系統無法因應產品的多樣化，嚴重影響檢測效能，造成後續人工檢測工作量大增，且廠商通常無法提供足夠的瑕疵影像供AI模型訓練。我們開發基於生成對抗網路的AI模型，及增量式學習技術，解決原本光學檢測系統無法快速適應新產品的問題，滿足產業對於產品極高良率要求。目前已實際應用於DRAM模組中焊接點檢查、輪胎氣泡檢測、太陽能瑕疵檢測等。
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15:40~16:20 第四會議室
線上X光量測N2製程GAA關鍵尺寸 / 量測中心 劉軍廷 研究員
以X光為基礎，建立關鍵尺寸X光反射式(CD-XRR)量測技術，應用在GAA結構關鍵尺寸量測，滿足量測微區≤ (50 x 50) µm2製程圖案需求，及穿透多層環繞式閘極結構，提供原子級解析度關鍵尺寸(CD)量測，並預計開發首台半導體2奈米GAA製程3維線上量測設備，提供半導體領導場技術驗證。
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15:40~16:20 八樓會議室
mini/micro LED量測技術與檢測介紹 / 量測中心 陳政憲 資深研究員
mini/ micro LED已成為新興顯示器重要之光源，而這些新興顯示器包含元宇宙領域AR與VR虛擬實境之應用，智慧座艙車載顯示器，與高動態對比顯示器背光之應用，成為下階段驅動顯示器與LED產業發展之重要機會。本次演講將針對mini/ micro LED之量測技術與檢測進行介紹，盤點目前可能之產業標準與實際量測實務，期能以光電計量技術共創產業價值。
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16:20~17:00 國際會議廳
結合光學技術及深度學習在智慧製造及生醫光學影像上的應用 / 清大光電所 陳鴻文 教授
深度學習的應用成效如何，往往取決於資料的品質。因著各領域檢測越來越精密的要求，既有的光學檢測方式也漸漸不敷所需。在演講中，會以智慧製造及生醫光學影像為例，探討怎麼開發新的光學技術來解決需求。同時，也會說明取得舊有技術所取不到的數據後，如何再結合深度學習去做以往難以做到的應用。
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16:20~17:00 第四會議室
毫米波巨量天線量測及其應用 / 量測中心 蘇于倫 工程師
隨著第五代行動通訊從Sub-6GHz頻段開始往毫米波頻段進展，為了克服路徑傳遞的耗損，5G毫米波波段天線的形式將從過往的全向性輻射型天線，轉向發展具有將能量聚焦(波束成形)傳遞的指向性相位陣列天線型式，且隨著頻率升高，未來正朝著天線單位尺寸越小、密度越密集的巨量天線邁進，本主題將探討天線的發展與量測以及其相關應用。
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